실리콘 웨이퍼1 [반도체물성] 실리콘 결정 구조 체계 이제, 앞선 포스팅에서 설명한 단위 셀들의 결정 방향을 표현하는 체계를 알아보겠습니다. 1. 결정 방향? 다음 그림의 각각의 입방체는 앞서 설명한 실리콘 단위 셀들을 나타냅니다. 그리고, 각각의 어두운 평면 부분들은 결정면이라고 합니다. 이제 하나씩 설명해보겠습니다. 우선, 설명하기에 앞서 밀러 지수(Miller Index)를 표기하는 방식에 대해 먼저 알아보겠습니다. 1. 면이 x축에서 a점과 교차하고, y축에서 b점과 교차하고, z 축에서 c점과 교차하는 경우 각각 교차점들에 역수를 취해 1/a 1/b 1/c로 나타낸 후 2. 역수 형태를 정수 형태로 바꿔주기 위해 a, b, c의 최소공배수를 각각에 곱해줍니다. 그리고 괄호에 넣어 표기하는 것이 결정 면을 나타내는 방식입니다. 위에 세 개 그림들을 .. 2020. 7. 18. 이전 1 다음
